ASTM F 1618-1995 测定硅片薄膜均匀性的标准规程
作者:标准资料网
时间:2024-05-08 13:40:51
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【英文标准名称】:StandardPracticeforDeterminationofUniformityofThin-FilmsonSiliconWafers
【原文标准名称】:测定硅片薄膜均匀性的标准规程
【标准号】:ASTMF1618-1995
【标准状态】:作废
【国别】:美国
【发布日期】:1995
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(ASTM)
【起草单位】:ASTM
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:薄片;硅氧烷;薄膜
【英文主题词】:thinfilms;wafers;silicones
【摘要】:
【中国标准分类号】:L40
【国际标准分类号】:29_040_30
【页数】:
【正文语种】:英语
【原文标准名称】:测定硅片薄膜均匀性的标准规程
【标准号】:ASTMF1618-1995
【标准状态】:作废
【国别】:美国
【发布日期】:1995
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(ASTM)
【起草单位】:ASTM
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:薄片;硅氧烷;薄膜
【英文主题词】:thinfilms;wafers;silicones
【摘要】:
【中国标准分类号】:L40
【国际标准分类号】:29_040_30
【页数】:
【正文语种】:英语
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